CDM интегрисани мерач дебљине и површинске густине

Апликације

Процес премазивања: онлајн детекција ситних карактеристика електроде; уобичајене ситне карактеристике електроде: празнично гладовање (нема цурења струјног колектора, мала разлика у сивој боји са нормалном површином премаза, неуспех CCD идентификације), огреботина, дебљина контуре подручја проређивања, детекција дебљине AT9 итд.

Пошаљите нам имејл

Детаљи производа

Ознаке производа

Принципи мерења

Принципи мерења површинске густине

Метода апсорпције X/β-зрака

Принципи мерења дебљине

Корелација и ласерска триангулација

Карактеристике техничког тестирања CDM-а

Сценарио 1: На површини електроде постоји празнина/недостатак ширине 2 мм и једна ивица је дебља (плава линија као што је приказано испод). Када је зрачна пега 40 мм, утицај измереног облика оригиналних података (наранџаста линија као што је приказано испод) изгледа очигледно мањи.

Сценарио 2: подаци профила подручја динамичког проређивања ширине података 0,1 мм

Софтверске функције

Технички параметри

Име	Индекси
Брзина скенирања	0-18 м/мин
Фреквенција узорковања	Површинска густина: 200 kHz; дебљина: 50 kHz
Опсег мерења површинске густине	Површинска густина: 10~1000 г/м²; дебљина: 0~3000 μм;
Понављање мерења тачност	Површинска густина: 16s интеграл: ±2σ: ≤±тачна вредност * 0,2‰ или ±0,06g/m²; ±3σ: ≤±тачна вредност * 0,25‰ или +0,08 г/м²; 4s интеграл: ±2σ: ≤±тачна вредност * 0,4‰ или ±0,12g/m²; ±3σ: ≤±тачна вредност * 0,6‰ или ±0,18 г/м²;Дебљина: Зона од 10 мм: ±3σ: ≤±0,3μм; Зона од 1 мм: ±3σ: ≤±0,5μм; Зона од 0,1 мм: ±3σ: ≤±0,8μм;
Корелација R2	Површинска густина >99%; дебљина >98%;
Ласерска тачка	25*1400μm
Класа заштите од зрачења	Национални безбедносни стандард GB 18871-2002 (изузеће од зрачења)
Век трајања радиоактивног извор	β-зрак: 10,7 година (полуживот Kr85); Рендгенски зрак: > 5 година
Време одзива мерења	Површинска густина < 1 м/с; дебљина < 0,1 м/с;
Укупна снага	<3 kW