Супер рендгенски мерач површинске густине
Принципи мерења
Када зрак озрачи електроду, зрак ће бити апсорбован, рефлектован и расејан од стране електроде, што резултира одређеним слабљењем интензитета зрака након пропуштене електроде у односу на интензитет упадног зрака, а његов однос слабљења је негативно експоненцијалан са тежином или површинском густином електроде.
И=И_0 е^−λм⇒м= 1/λлн(И_0/И)
I_0: Почетни интензитет зрака
I: Интензитет зрака након преноса електроде
λ: Коефицијент апсорпције мереног објекта
m: Дебљина/површинска густина мереног објекта

Најважније опреме

Поређење мерења полупроводничких сензора и ласерских сензора
● Мерење детаљних контура и карактеристика: мерење површинске густине контура милиметарске просторне резолуције великом брзином и високом прецизношћу (60 м/мин)
● Мерење ултра ширине: прилагодљиво ширини премаза већој од 1600 мм.
● Ултрабрзо скенирање: подесива брзина скенирања од 0-60 м/мин.
● Иновативни полупроводнички детектор зрака за мерење електрода: 10 пута бржи одзив од традиционалних решења.
● Покретан линеарним мотором велике брзине и високе прецизности: брзина скенирања је повећана 3-4 пута у поређењу са традиционалним решењима.
● Самостално развијена мерна кола велике брзине: фреквенција узорковања је до 200kHZ, што побољшава ефикасност и тачност премаза затворене петље.
● Израчунавање губитка капацитета проређивања: ширина тачке може бити до 1 мм. Може прецизно измерити детаљне карактеристике као што су обриси подручја проређивања ивица и огреботине у премазу електроде.
Софтверски интерфејс
Прилагодљив приказ главног интерфејса мерног система
● Одређивање површине за проређивање
● Одређивање капацитета
● Одређивање огреботина

Технички параметри
Ставка | Параметар |
Заштита од зрачења | Доза зрачења са удаљености од 100 мм од површине опреме је мања од 1 μsv/h |
Брзина скенирања | 0-60м/мин подесиво |
Фреквенција узорковања | 200kHz |
Време одговора | <0,1 мс |
Мерни опсег | 10-1000 г/㎡ |
Ширина тачке | 1 мм, 3 мм, 6 мм опционо |
Тачност мерења | P/T ≤ 10%Интеграл за 16 секунди:±2σ:≤±тачна вредност×0,2‰ или ±0,06 г/㎡; ±3σ:≤±тачна вредност×0,25‰ или ±0,08 г/㎡;Интеграл за 4 секунде:±2σ:≤±тачна вредност×0,4‰ или ±0,12 г/㎡; ±3σ:≤±тачна вредност×0,6‰ или ±0,18 г/㎡; |